半導体製造装置や精密機械の輸送・ケータリング輸送・一般貨物運送業『カツマタテクニカルトランスポート』のホームページです。
MKS社製 RPS 修理・中古機販売・エクスチェンジ
当社はMKS社と業務提携しておりRPSを主軸にRF Generator、Microwave、Reactive Gas関連製品のサービスも提供しております。
メーカー準拠の品質
当社取り扱い商品は全てMKS社にて事前修理・オーバーホールを行なっております。
長期動作保証
当社が販売・エクスチェンジするRPSは全て1年間の動作保証が含まれます。
短納期
オーバーホール品を在庫することにより即納が可能です。
※在庫は流動的ですので都度お問合せ下さい。
対象モデル
※現在、２Lを主軸に在庫強化を行っております。その他記載の無いモデルにつきましてはお問い合わせください。
ASTRON 2L
- AX7657-84 (AMAT P/N:0920-00168)ーα
- AX7657-85 (AMAT P/N:0190-41326) ーβ
- FI20620-1（生産終了モデル）ーβ
- AX7657MTS-02 (AMAT P/N:0190-87806) ーα
- AX7657MTS-03 (AMAT P/N:0190-87641) ーβ
- AX7657MTS-04 (AMAT P/N:0190-93979) ーα
- AX7657MTS-05 (AMAT P/N:0190-93980) ーβ
〈α：HA coating／ β：PEO coating〉
ASTRON 3L, 6L
- AX7670-xxシリーズ
- AX7671-xxシリーズ
- AX7685-xxシリーズ
MKS社準拠のR3（フルオーバーホール）済みの中古機を販売しています。
MKS社とコラボしているため、常時オーバーホール済み品を在庫しており、迅速に製品をお届け可能です。
納品後1年の標準動作保証付きです。（※保証内容はMKS社準拠となります）
ブロック交換及び各種R1・R2・R3修理、E1解析などお客様のご希望に応じて 対応致します。
- ブロック交換
プラズマブロックのみ新品に交換後、最終試験を経てご返却致します。
交換範囲の部品のみ3ヶ月の保証が付きます。
- R1修理対応
故障箇所の修理後、最終試験を経てご返却致します。
交換した部品のみ3ヶ月の保証が付きます。
※ 対象はParagon、Revolutionのみ、Astronのサービスを終了しました。
- R2修理対応
プラズマブロック交換を含む故障箇所の修理後、ご返却致します。
プラズマブロックを除き、交換した部品にのみ3ヶ月の保証が付きます。
- R3修理対応
故障箇所及びその他の推奨交換部位の交換後、ご返却致します。
プラズマブロックを除き、ユニット全体に12ヶ月の保証が付きます。
ただし、モデルによってはR3 サービスの対象外となります。
- E1初期診断
不具合診断のみ。診断後上記修理を進める場合は診断費はかかりません。
この初期診断のみの依頼も可能です。
2024年11月15日現在の在庫状況のご案内です。
リストにご希望の品がない場合でも実際には在庫がある場合もございますのでお気軽にお問い合わせください。
| Item | Item Description | On-hand |
|---|---|---|
| 1046962 | OZONE SYSTEM CONTROLLER,2 CHANNEL S2 | 1 |
| 1056283 | OZONE CONC MONITOR, API, 500G/NM3, 1-100SLM, 25-60PSIA | 4 |
| 134500-G4-PLUS-B | ASSY, FINAL, 4 PORT PRESS CONT SYS, DNET, B VERSION | 3 |
| 15-3280-310R | BMT 932-6 WITH INTEGRATED 932-RELAY | 1 |
| 41B11TFB2AF2.2 | PRESSURE SWITCH,10T,1/4 NPT M,2 FT FLY LDS | 4 |
| AX2530PSCE-AMAT | 3KW SMARTPOWER GENERATOR (CE/UL/F47) CUSTOMER SPECIFIC | 2 |
| AX2530RHCE-AMAT | 3KW SMARTPOWER MAGNETRON HEAD (CE/UL/F47) CUSTOMER SPECIFIC | 2 |
| AX7610RPN1-Q | DWNSTRM APPL W/QTZ TUBE & SWR HD GAS INL, UV LAMP CN | 1 |
| AX7640 | ASTRON HF | 1 |
| AX7645RH-06 | ASTRON HF-S REMOTE HD ENHANCED CDA NVLUS | 1 |
| AX7645RH-20 | ASTRON-HFS REMOTE HEAD | 1 |
| AX7646PS-20 | AST HFS POWER SUPPLY, AMAT | 1 |
| AX7657-85 | ASTRON W/ENHANCED IGNITION OPTION, 2L | 2 |
| AX7657-85-R | ASTRON W/ENHANCED IGNITION OPTION, 2L | 4 |
| AX7670-19-R | ASTRON I APPLIED SPECIFIC | 1 |
| AX7670-21-R | ASTRONI (NOVELLUS: 90 H2O FITTING) | 3 |
| AX7670-60-R | ASTRON I - REFURB | 1 |
| AX7670-83-R | ASTRON I, 90 DEG H20 FITTINGS, TOP MIXER PL, LAM - REFURB | 1 |
| AX7671-85 | ASTRON I | 26 |
| AX7671-89 | ASTRON I-85 WITH EXTENDED RELAY BOARD | 3 |
| AX7671-91 | ASTRON I, AMAT | 1 |
| AX7671MTS-01 | ASTRON I, AMAT | 1 |
| AX7671MTS-02 | ASTRON I | 4 |
| AX7685-85 | ASTRON EX, 6 LITER, NF3 | 9 |
| AX7685-91 | ASTRON EX, 6 LITER, NF3, AMAT | 1 |
| AX7685-92 | ASTRON EX, W/PWR MONITOR, 6 LITER, NF3, AMAT | 9 |
| AX7685MTS-05 | ASTRON EX | 5 |
| AX7696AMAT-30 | R*EVOLUTION V, OEM, 6KW, 1.5 GPM | 1 |
| AX7696MKS-01 | R*EV V, KF50 | 1 |
| AX7700-11 | ASTRON PARAGON, KF50, W/O ETHERCAT, AMAT | 5 |
| AX7700MTS-01 | ASTRON PARAGON, KF50, W/O ETHERCAT, POWER CONTROL, AMAT | 3 |
| AX7700MTS-02 | ASTRON 7700 | 1 |
| AX7700MTS-03 | PARAGON, OEM, KF50 | 8 |
| AX7700MTS-40 | PARAGON, OEM, KF50 | 1 |
| AX7700MTS-40A | PARAGON, OEM, KF50 | 6 |
| AX7700MTS-40B | PARAGON, OEM, KF50 | 6 |
| AX7700MTS-50 | PARAGON, OEM, KF50 | 2 |
| AX7710MTS-02 | PARAGON, OEM, ECAT, KF50 | 4 |
| AX7710MTS-41 | PARAGON, OEM, ECAT, KF50 | 3 |
| AX8407-09A | HIGH EFFICIENCY OZONE GENERATOR 9 CELL | 3 |
| AX8407B | HIGH EFFICIENCY OZONE GENERATOR AX8407B | 1 |
| AX8407HC | AX8407 HIGH CONCENTRATION OZNE GENERATOR | 2 |
| AX8407RH-C4 | 4-CELL COMPACT OZONE GENERATOR, ROHS | 1 |
| AX8410-28HC | 28 CELL HIGH CONC O3 GENERATOR | 1 |
| AX8415A | HIGH EFFICIENCY OZONE GENERATOR | 1 |
| AX8561RH-5052 | OMEGA INTEGRATED O3 SYS, 5-CELL, 5 SLM, 0.2 SLM, ROHS | 1 |
| AX9030A | SMARTMATCH TUNING HEAD, ASP + CHAMBER | 4 |
| DLT2A2-33194 | DLT2A252163R220/SP028-09 | 1 |
| DLT2A213163R220 | DII, 1K/1K, DNET, RATIO, Q2 | 2 |
| DLTNA3-30335 | DLTNA3BBB6R11/S028-09 | 2 |
| DLTNA3-33135 | DLTNA3BBB6R21/SP028-09 | 4 |
| DLTNA4-31020 | DLTNA4AAAA6R10/S028-09 | 1 |
| DLTNA4-33132 | DLTNA4AAAA6R20/SP028-09 | 4 |
| DPCA-26028 | DPCA12T51C612/S083-04 | 1 |
| DPCA-29643 | DPCA12T51C613/SP083-04 | 5 |
| FI20109 | PHASE MAG ISOLATOR ASSY | 1 |
| FI20162-1 | 3.0 KW SMARTPOWER HEAD | 1 |
| FI20166 | 3KW SMARTMATCH IMP MATCH HEAD-AMAT | 1 |
| FI20606 | SMARTMATCH, 3KW, PSK | 1 |
| FI20606 | SMARTMATCH, 3KW, PSK | 1 |
| FI20620-1 | ASTRON W/ENHANCED IGNITION OP(AMAT SPEC) | 2 |
| FI20632 | APPLICATOR, QUARTZ, ASP300MM | 5 |
| S15ITBC | MICROWAVE POWER GEN . AX2115 | 3 |
| SXRHC | SXX PWR SUPPLY REM HEAD SPEC | 4 |
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